KOR ENG CHN VIE IND
See all products 1/26 MORE

GREEN WORLD WITH HANSO

See all products

Lĩnh vực ứng dụng

Dùng để loại bỏ các khí như HCl, HF, HBr, BCl3 quá trình cấy ion(Ion Implant), quá trình ashing, quá trình Epi, quá trình lắng đọng hóa học (CVD)

Characteristic

  • Appearance & Size : Pellet (ø=4.0, more)
  • Color : Brown
  • Bulk density : 0.6~0.7g/cc
  • Crush strength : > 4kgf/㎠
  • Upper temp. limit : < 100℃

Appearance

Đặc tính sản phẩm

Gas Mechanism TLV (ppm)
BCl3 BCl3 + 3MOH → 3MCl + B(OH)3 5
BCl3 + 3MO(OH) → 3MOCl + B(OH)
HBr 2HBr + M(OH)2 → MBr2+ 2H2O 3
HCl 3HCl + MO(OH) →MCl3 + 2H2O 5
HF 6HF + M2O3 → 2MF3 + 3H2O 3
SiH4 SiH4 + 2MOH →M2Si + 2H2O + H2 5
Công ty cổ phần Hanso Giám đốc đại diện : Kim Sang Woong
Main Office/Research Institute: 149, Jukdong-ro, Youseong-gu, Daejeon, Republic of Korea, 34127
Factory: 18th-71, Munpyeongseo-ro, Daedeok-gu, Daejeon, Republic of Korea, 34302
Số đăng ký kinh doanh : 314-81-36819
TEL : 0082-42-936-0991 FAX : 0082-42-936-0994 E-mail : info@hansoinc.com
최상단으로 바로가기