GREEN WORLD WITH HANSO
Lĩnh vực ứng dụng
Dùng để loại bỏ các khí như NH3,TMA, Amino-silane, quá trình khuếch tán (Diffusion), quá trình lắng đọng hóa học (CVD)
Đặc tính sản phẩm
Appearance
Cơ chế phản ứng
Gas | Mechanism | TLV (ppm) |
---|---|---|
NH3 | 4NH3 + MSO4 →M(NH3)4SO4 | 25 |