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GREEN WORLD WITH HANSO

产品信息

适用领域

离子注入(Ion Implant)工程, 灰化(Ashing)工程、 Epi工程、 化学气相沉积(CVD)制程、 Cl2, F2 等酸性气体去除

产品特点

  • Appearance & Size : Pellet (ø=2.2, more)
  • Color : White
  • Bulk density : 0.6~0.7g/cc
  • Crush strength : > 2.0kgf/㎠
  • Upper temp. limit : < 100℃

形状

反应原理

Gas Mechanism TLV (ppm)
Cl2 Cl2 + 2MOH → 2MCl + H2O + 1/2O2 1
Cl2 + M(OH)2 → MCl2 + H2O + 1/2O2

韩素株式会社 代表理事 : 金相雄 运营商号码 : 314-81-36819
公司/研究所：韩国大田广域市儒城区竹洞路149， 34127
工厂 ： 韩国大田广域市大德区文平西路18号71， 34302
电话 : 0082-42-936-0991 传真 : 0082-42-936-0994 邮箱 : info@hansoinc.com

驻华办事处 地址 : 中国江苏省昆山市长江北路花都艺墅102号楼821室
电话 : 0086-512-5033-3226 传真 : 0086-158-5033-1446 邮箱 : jyz766@hotmail.com

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