适用领域

扩散(Diffusion)工程、CVD制程等、 NH3, TMA, Amino-silane 等碱性气体去除

产品特点

  • Appearance & Size : Pellet (ø=4.0, more)
  • Color : Light brown
  • Bulk density : 0.8g/cc
  • Crush strength : > 4.0kgf/㎠
  • Upper temp. limit : < 100℃

形状

反应原理

Gas Mechanism TLV (ppm)
NH3 4NH3 + MSO4 →M(NH3)4SO4 25