适用领域

扩散(Diffusion)工程、CVD制程等产生气体、 H2S, H2Se, PH3, AsH3 等气体

产品特点

  • Appearance & Size : Pellet (ø=3.0, more)
  • Color : Light blue
  • Bulk density : 0.8g/cc
  • Crush strength : > 2.0kgf/㎠
  • Upper temp. limit : < 50℃

形状

反应原理

Gas Mechanism TLV (ppm)
H2S Cu(OH)2 + H2S → CuHS + 2H2O 5
2Cu(OH)2 + H2S → Cu2S + 4H2O